光氧催化+低温等离子设备分解：光氧催化模块运用253.7纳米波段光切割、断链、燃烧、裂解废气分子链，改变分子结构，为第一重处理；取185纳米波段光对废气分子进行催化氧化，使破坏后的分子中子或原子以O3进行结合，使有机或无机高分子恶臭化合物分子链，在催化氧化过程中，转变成低分子化合物CO2、H2O等
再根据不同的废气成分配置27种以上相对应的惰性催化剂，催化剂采用蜂窝状金属网孔作为载体，全方位与光源接触，惰性催化剂在338纳米光源以下发生催化反应，放大10-30倍光源效果，使其与废气进行充分反应，缩短废气与光源接触时间，从而提高废气净化效率，催化剂还具有类似于植物光合作用，对废气进行净化效果，为第三重处理，通过三重处理后的废气其除臭最高可达99%以上，净化、脱臭效果大大超过GB16297-1996《大气污染物综合排放标准》二级排放标准，GB14554-93《恶臭污染物排放标准》二级排放标准。
接着废气进入等离子模块，通过放电，电子从电场中获得能量，通过非弹性碰撞将能量转化为污染物分子的内能或动能，这些获得能量的分子被激发或发生电离形成活性基团，当污染物分子获得的能量大于其分子键能的结合能时，污染物分子的分子键断裂，直接分解成单质原子或由单一原子构成得无害气体分子。等离子体中包含大量的高能电子、正负离子、激发态粒子和具有强氧化性的后型自由基，这些活性粒子和部分废气分子碰撞结合，同时产生的大量OH、HO2、O等活性自由基和氧化性极强的O3，能与有害气体分子发生化学反应，最后生成无害产物。物理作用表现在具有荷电集尘作用。等离子体中的大量电子与颗粒污染物发生非弹性碰撞并粘附其表面从而使其荷电，在电场作用下，颗粒污染物被集尘极收集。生物作用表现在具有消毒杀菌之功效。机理为：等离子体中的正负粒子使微生物表面产生的电能剪切力大于其细胞膜表面张力，致使细胞膜遭到破坏而导致微生物死亡。
首先废气通过光氧催化模块裂解70%-80%废气分子，生成水和二氧化碳，低温等离子模块放电轰击剩余的废气分子，最终达到完全分解废气分子。
光氧等离子复合废气处理设备优势
（1）净化效率高，运行稳定。
（2）结构紧凑、设计新颖、体积小、重量轻、运输方便。
（3）噪声≤45dB（A），设备风阻≤100Pa（加过滤棉≤500Pa）
（4）运行成本低、能耗低。
（5）紫外光催化分解＋等离子碳化分解+光触媒技术。
（6）安装及操作方便。
（7）清洗及维护方便，使用寿命长。
光氧等离子复合废气处理设备适用范围
（1）适应范围广泛，对VOCs有机废气、非甲烷总烃、以及《国家恶臭污染控制标准》中规定的八大恶臭物质（氨、硫化氢、二硫化碳、甲硫醇、甲硫醚、二甲二硫、三甲胺、苯乙烯）以及苯、甲苯等废气均能有效治理净化，特别适合处理各种恶臭废气、腐臭废气、废水污水恶臭气体等。
（2）对含甲烷、二甲苯、硝基等高浓度易燃易爆挥发性污染物的废气禁止使用（比如燃料废气、硝药废气、炼油化工废气、油漆厂废气、化肥厂废气、汽油酒精废气、沼气废气等等）。
光氧等离子复合废气处理设备注意事项
（1）为保证设备的净化效率，风机应设在废气净化器的后面。
（2）废气净化器如安装在支架之上时，应与支架紧固连接；与排气管道之间的连接必须密封。
（3）废气净化器应安装在室外，有足够的空间用来维护与维修；室外安装时，应加装防雨、遮阳的遮阳篷,以免影响废气净化器的正常使用寿命以及增加不必要的维护费用。
（4）为保证废气净化器的净化效率，与设备出入风口连接的变径风管要尽量平顺。
（5）废气净化器箱体应安全可靠接地；安装过程中不允许磕碰电极。严禁异物落在净化器内等。
